KAIST用导电MOF制可调栅电极并完成验证

韩国科学技术院（KAIST）联合韩国多所高校，用导电金属有机框架（MOF）制成可调栅电极，并在三种半导体材料的场效应晶体管上完成验证，测试中性能与传统金属栅极相当。 研究团队使用的铜基MOF为Cu₃(C₆O₆)₂，实测功函数4.51 eV，落在n型与p型半导体典型值之间，因此同一电极材料可同时控制两类晶体管沟道。团队还在单块衬底上制作23个IGZO晶体管阵列，演示了制造可行性。 研究团队称，后续工作将评估这种可调特性能否带来实际功耗节省，并改进图案精度、大面积均匀性、制造可重复性和长期可靠性。

AI 根据报道生成 · 2 小时前更新

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。